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第59章 我能解决（第2页）

“比如，投影物镜的温度波动就会直接引起焦面位置漂移和成像畸变，这台光刻机的境况就是因此此造成的。

“越高端的光刻机对环境参数的苛刻程度就越高，深紫外DUV光刻机就已经这样了，未来做极紫外EUV光刻机相关要求只会更加苛刻。”

“哦呜~”所有的工程师们都瞬间松了一口气，别的不说，就程旭这判断，可以说精准无比。

要知道，他可是只要了生产过程资料和设备参数，并没有听取沪微其他的问题报告。

之前虽然相信智能手段能够解决这个问题，但任谁看到一个二十多岁的小孩儿，心里都是犯嘀咕的——这个年纪的人，即便沪微有，那也是实习生吧？

但程旭仅凭自己，一周的时间，就发现了他们光学系统问题的核心关键点。

众人的信心一下自己又回来了——至于程旭一脸凝重甚至是咬牙切齿的表情，则是被他们忽视了，那大概是他固有的面容吧。

“那怎么解决呢？”程旭接着说道：

“直接加热或者冷却是不可能的吧？利用液体循环温控回路对投影物镜温度进行远距离间接控制是惯用方案，我们这个光刻机现在就是这种方案。

“但我们都知道，液体循环温控回路是一个非线性、多时滞、多重扰动的复杂大系统，这种大惯性将导致温度收敛速度缓慢。

“对于此，研发控制稳定度高、收敛速度快的温度控制高智能算法就是有效的解决方案。”

“智能控制算法以【决策信息集】和【推理规则库】为基础，通过他们的结合实现，利用【智能决策算法】实现恰当的控制方式选择。

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“其中【决策信息集】来自控制过程的各种数据积累，【推理规则库】则来自对控制过程的长期认知。”

“需要荷泵体系芯片支持？需要训练决策、推理相关的AI？”

赵辉明白了程旭的打算了，智能决策算法、推理、可升级的规则库，再加上程旭的身份，理所当然的就能想到，这需要荷泵芯片的支持。

程旭点了点头，这也是他无比纠结的地方——

原本以为只更新智能系统就能解决28nm光刻机，荷泵芯片对光刻机各个子系统的支持，那是为之后满足套刻精度，自主生产14nm、7nm甚至5nm所准备的。

这一下子掏干在这儿了，以后还怎么搞？

计划中要使用7nm制程工艺芯片，大概率是和华威合作。

芯片哪怕就用麒麟990变种，然后结合【珠穆朗玛二代】，那绝对可以称高端，在商务人士眼里称顶尖都不为过。

可是，现在大概率只能实现14nm的自主了，14nm怎么玩儿？

就是麒麟710A的水准，就算不玩游戏，日常使用也会很难啊。

就算结合【珠穆朗玛二代】又能怎样，就算有效果，那也是大打折扣了！

……

“旭哥啊，”会都结束了，所有人都离开了，赵辉还在为程旭的想法震惊：

“你这想的也太远了，能解决一个算一个吧，28nm光刻机能下线，这就是巨大突破，以后的路只能走着再看了。”

“也只能如此了，先让28nm光刻机下线再说。”

程旭说着，脑子一个激灵：“不对，先别走，等等，我总感觉我忽视了啥，7nm，甚至5nm，一定还有救！”

看着走着走着突然陷入闭目沉思的程旭，赵辉也是惊骇不已——妖孽都是这个样子的吗？

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